超精密空氣主軸(以下簡稱主軸)可用作超精密加工機床或高精度計量儀器的主軸系統。主軸采用先進的氣體靜壓技術，徑向軸承和雙向止推軸承的各工作面均為靜壓氣浮面，且經過嚴格的動平衡，因而實現了非接觸的高精度回轉，具有無振動、低噪音的特點。

由于氣膜對軸系零件加工誤差的平均作用，因而軸系裝配后的回轉精度可以高于零件精度。對主軸主要技術指標——主軸徑向回轉精度要求達到小于0.1μm。這樣高精度的指標，即使加工出來了，也難以測量出它的精度，因而給測量帶來了極大的困難。通過幾年的摸索、研究，終于用雙向轉位法測出了主軸徑向回轉精度(0.07μm)。現將測量方法介紹給讀者。

1　檢測

1.1　檢測條件

環境溫度：20±1℃　每小時變化：<0.1℃

相對濕度：30%～60%

被測主軸在恒溫室內定溫時間不少于24h;

被測主軸與標準器具的溫差不大于0.2℃;

被測主軸需安置在隔振基礎上，周圍無劇烈振動和沖擊;供氣壓力穩定在0.4±0.02MPaq

1.2　檢測用儀器和器具

①　TESA電感測微儀(瑞士)(分辨率0.01μm)，